Konfokales LED-Mikroskop – Smartproof der Fa. ZEISS

Das Smartproof 5 ist ein Mikroskop, mit welchem nano- und mikroskopische Topographien mit Hilfe von konfokaler LED-Technologie vermessen werden können. Mit Hilfe der automatisierten Routinen und den hohen Genauigkeiten können Topographien breitflächig und reproduzierbar dokumentiert werden.

ZEISS: „Die Weitfeld-Konfokaltechnologie von Smartproof 5 bietet im Vergleich zu herkömmlichen Point-Scanning-Konfokalmikroskopen einen höheren Durchsatz. Möglich wird dies durch die Spinning-Disk-Technologie mit Aperturkorrelation, die im Detektormodul von Smartproof 5 integriert ist.“

Mittels des optischen Messverfahrens und der Auswertesoftware ConfoMap, basierend auf MountainsMap, können diverse dreidimensionale Auswertungsmethoden realisiert werden, wie die Generierung von Flächenrauheitswerten, Profilanalysen und mikro-/nanoskopische Volumenberechnungen. Alle Auswertungen können nach unterschiedlichsten deutschen oder internationalen Standards und Normen ausgewertet werden. Die Ergebnisse können sowohl in numerisch tabellarischer, als auch in grafischer Form aufbereitet werden.

Beispiele der praktischen Anwendung:

  • Rauheitsmessungen (2D/3D)
  • Qualitätskontrolle
  • Volumenidentifikationen von Adhäsionen
  • Rissanalysen
  • Schichtdickenmessungen von Schmierfilmen
  • Hologrammcharakterisierung
  • Automatisierte Geometrieerkennung
  • Verbundanalyse von Hybridbauteilen
Technische Daten/Ausstattung
Parameter Bereich

Aktuelle Vergrößerungen (Objektive)

2,5-fach, 5-fach und 20-fach

Bildauflösung

2048 × 2048 Pixel

Bildfrequenz der Kamera

50 Bilder/Sek. bei 2048 × 2048 Pixeln

Lichtquelle Konfokalbildgebung

405 nm-LED

Lichtquelle Farbbildgebung

RGB-LEDs

Laterale Messunsicherheit

0,1 µm ± 0,008 x L

Vertikale Messunsicherheit

0,1 µm ± 0,012 x L

Maximales Bauteilgewicht

5 kg

Maximale Bauteilhöhe 10 cm
Julius Peddinghaus, M. Sc.
Teamleitung
Julius Peddinghaus, M. Sc.
Teamleitung